전자 조사를 통해 hBN의 B 센터 단일광자 방출기에 대해 40 nm 위치 정확도를 달성했습니다. 전자빔 확산(27 nm)과 UV 전구체 밀도가 주요 제한 요인입니다. 집적 양자 광자학을 위한 10 nm 이하의 정확도 달성을 위한 경로가 확인되었습니다.

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