[2024 OPEN ACCESS]
Fabrication and characterization of strain-induced graphene for chemisorption-based graphene resonant mass sensors
2024 Appl. Phys. Express 17 127001

[2024 OPEN ACCESS]
Fabrication and characterization of strain-induced graphene for chemisorption-based graphene resonant mass sensors
2024 Appl. Phys. Express 17 127001
11月11日〜13日開催の「エヌプラス2026」(東京ビッグサイト)にて、小型原子時計用MEMSガスセルの研究成果を展示します!
🎤 セミナー講演
📅 11/13(金)13:00–13:45
「原子時計を小さく、そして量産へ―MEMSガスセルの微細加工・製造技術」
🔬 研究成果展示
📍 カワサキテクノリサーチ(ブース A-42)
#エヌプラス2026 #NPlus #MEMS #原子時計 #微細加工
Mit „ #MEMS-Sensoren im Wandel: Neue Ansätze für Präzision und Integration“ und „NDIR-Sensorik: von der Komponente bis zum System“ sorgten die CiS #Workshops für wertvolle Impulse und spannende Diskussionen. Vielen Dank an alle Referent*innen sowie teilnehmenden Gäste.
www.cismst.de/news-2026-10-09
Our paper on MEMS Rb vapor cells for chip-scale atomic clocks has been accepted in IEEE Open Journal of Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control! 🎉
#IEEEUFFC #OJUFFC #MEMS #AtomicClock #MEMS #CSAC #CPT #IEEE #Microfabrication
We presented our latest work at MNE 2026 in Interlaken, Switzerland 🇨🇭! Thank you to the organizers and everyone who joined the session!
#MNE2026 #OrganOnAChip #Microfluidics #Nanodiamond #MEMS #Biosensors
[2025 Open Access]
Direct phase-compensation method of piezoelectric resonant MEMS scanners through control of driving signal phase and duty cycle
2025 Appl. Phys. Express 18 127001
iopscience.iop.org/article/10.3...
#APEX
#OpenAccess
#Physics
#MEMS
#micromirror
#Piezoelectric
#actuator
#phase
Not every pressure sensor makes you trade sensitivity for a steady reading!
Read the full article on IEEE Sensors Alert.
ieee-sensorsalert.org/articles/des...
#ieeesensorsalert #ieeesensors #pressuresensing #capacitivepressuresensor #mems #memssensors #microelectromechanicalsystems
[Open Access]
Fabrication of β-Ga2O3/air-gap structures on (010) β-Ga2O3 by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
2025 Appl. Phys. Express 18 116501
iopscience.iop.org/article/10.3...
#APEX
#OpenAccess
#Physics
#Ga2O3
#TMAH
#cantilever
#bridge
#etching
#MEMS
Der CiS MEMS #Workshop steht am 29. September 2026 unter dem Motto „MEMS-Sensoren im Wandel: Neue Ansätze für Präzision und Integration“ und beleuchtet die komplette Wertschöpfungskette der modernen #MEMS -basierten Silizium-Sensorik.
Programm und Anmeldung: www.cismst.de/workshops/me...