仕様書に「E142対応」とあっても、それだけでは受け渡し方が決まりません。SEMI E142の案内ページには、XMLスキーマ、SECS-II、Web Services、Item Transferの下位規格が並びます。後工程・テストを含む基板のマップデータ(E142)と、装置の中の基板追跡(E90)は、案内ページの上では互いを参照していない。二つをつなぐのは工場側の設計です。

仕様書に「E142対応」とあっても、それだけでは受け渡し方が決まりません。SEMI E142の案内ページには、XMLスキーマ、SECS-II、Web Services、Item Transferの下位規格が並びます。後工程・テストを含む基板のマップデータ(E142)と、装置の中の基板追跡(E90)は、案内ページの上では互いを参照していない。二つをつなぐのは工場側の設計です。